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Varian Turbo-V 81-M和Varian Turbo-V 81-T的区别：

Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T**一些，从“身高”来看就高一些，分子泵抽气压缩比要高出不少，根本原因是其转子设计不同，Varian Turbo-V 81-M的涡轮转子多了几层导流环

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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行

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维修二手安捷伦Agilent TV401/301分子泵

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分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，在排除漏气的情况下，说明分子泵内部脏化了，就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化