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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通,泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高,使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大,使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当,端盖板螺钉松紧不一,转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量, 清洗时用高压空气吹通油孔,把沉积物清洗干净通冷却水降温, 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合,调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈,拧紧气镇阀电动机超负荷运转,甚至转不动, 发生“ 卡死”现象 。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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凝结层对冷凝泵抽速的影响：冷凝泵在工作一段时间以后，低温表面上将凝结一定厚度的固态气体层。对冷凝泵的抽速有一定影响。其影响主要取决于冷凝层的性质，也就是取决于冷凝层的结构和类型。冷凝层的导热率是冷凝层的类型和结构的复杂函数。如果沉积速率低，冷凝层可以有一个玻璃状外表，凝结层热传导好，对抽速几乎无影响;如果沉积速率高，冷凝层出现类似雪花状结构，热传导不好，会降低抽速，但对捕集非凝结性气体是有利的。

在真空泵机组运转过热的时候，需要给分离器加一点冷水，以便降低水环真空泵的温度，让水环泵达到目前所适应的温度，让机器能正常的工作，如果在工作期间有开水溢出，这是可要注意了，要不断的添加凉水，来补充溢出的热水，达到降温的效果。

真空泵机组要想从根本上解决温度过高的现象，就要找出导致高温的原因，在使用过程中不要让它长时间工作，这样会导致温度升高，这样该产品的使用寿命才会比较久。

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降温时间是闭循环小型制冷机低温泵的主要技术指标之一。降温时间与技术水平有关，还要考经济性。目前国内外的产品中，小型泵的降温时间一般不超过90min，大型泵不超过180min。

如果真空度降至-87千帕，应进行跳闸维护，否则机器将被手动制动。真空机组的工作原理叶片的叶轮偏心安装在圆柱形泵壳内。一定量的水被注入泵中。当叶轮旋转时，水被甩到泵壳上形成水环，水环的内表面与叶轮的轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右轮毂与水环之间的进气空间逐渐扩大，从而形成真空，使气体通过进气管进入泵内的进气空间。然后气体进入左半边。随着轮毂环之间的容积逐渐压缩和压力增加，气体通过排气空间和排气管排放到泵的外部。

换气，换气率可高达99%,通过具体的工程设计、根据需要设计换气速度和风速，任何高热、有害气体、粉尘烟雾均能迅速排出车间，任何通风不良问题均能一次解决，从开启站的几秒钟内即可达到通。

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