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一个较健全的真空系统由以下元器件构成：

1．抽气机器设备：比如各种各样真空泵；

2．真空闸阀；

3．联接管路；

4.真空测量设备：比如真空气压表、各种各样规管；

5.其他元器件：比如捕集器、除尘设备、真空汽车继电器规头、空压机储气罐等

固定的涡旋体称定子，转动的涡旋体称转子。转子无自转而以一定的回转半径平动公转。随着转子的平动公转，在两个涡旋体之间形成了吸气腔和压缩腔。吸入气体后的工作腔的容积随着转子的运动而缩小，从外圈向中心移动排出气体，连续完成了吸气、压缩和排气过程。ulvac爱发科真空泵维修

　　为了减轻泵涡旋体的重量，其基材用铝，在表面上涂镀一层特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蚀性。该泵涡旋体间相邻工作腔的压差小 , 故气体泄露量小 , 泵的驱动转矩变化小，因此泵的噪昔低、振动小。

　　该泵特点是重量轻、体积小，为卧式结构，可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ，是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片式真空泵能够抽除密封容器中的枯燥气体，若附有气镇设备，还能够抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。

筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。在设计制造中，可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。

随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。

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罗茨真空泵与其它类型的真空泵相对比，有以下优势：

1、罗茨真空泵泵腔内不发生气体压缩，加之运动件之间有间隙，对抽吸气体中的灰尘和水蒸汽不敏 感，因此可抽出可凝性蒸汽

2、罗茨真空泵泵腔内运动件无需用油润滑，能避免油蒸汽对真空系统的污染，有利于获得无油真空

3、无需进排气阀，结构简单，噪声较低，罗茨真空泵泵腔内运动件互不接触，不易损坏，维护费用低，复合分子泵厂家

4、在很宽的压力范围内，罗茨真空泵具有稳定的大抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了油封机械泵和扩散泵的不足，很适宜作机械增压泵之用，在有水封或油封的情况下，能直排大气抽真空，也适宜作大抽速的粗真空泵

真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，机是否超负荷运转，电机积真空泵的温开是否过高等。

用水冷却的进口真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。应每年定期更换了1~3次真空泵油。由干进口真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。

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