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钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝(或升华器)和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝)，使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上，形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，结果将空间的气体分子抽除了。

　　钛升华泵抽除的气体分子吸附在钛膜上，吸附机理是比较复杂的.通常认为是物理吸附和化学吸附综合作用的结果，以化学吸附为主。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵油的饱和蒸汽压

饱和蒸汽压力的关键指标之一真空泵油。在封闭的容器在恒定的温度,蒸汽压力的压力时饱和蒸汽液体达到动态平衡。

饱和蒸汽压油应尽可能低,泵的Z大工作温度,仍然有足够的低饱和蒸汽压,低于真空泵的极限压力。60摄氏度的温度至少达到6.5 x kPa的纯(由于20摄氏度的气温升高,饱和蒸汽压即将下降一个数量级)

真空泵按结构类型可分为机械式，喷射式和吸着式，凡是利用机械运动来获得真空的泵称为机械真空泵。按其工作原理及机构特点分为变容真空泵和动量传输泵，变容式真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。这种泵分为旋转式和往复式两种，旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出，主要有有以下4 类：(1)液环真空泵;(2)油封式真空泵;(3)干式真空泵;(4)罗茨真空泵。5轴磁悬浮涡轮分子泵供应商

液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环真空泵或油环真空泵。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000 Pa。用油作工作液，可达130 Pa。

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维修ULVAC分子泵系列：

UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTM-350、UTM-480、UTM-800、UTM-1001、UTM-3303、UTM-6300、UTM-1400FW、UTM-2300FW、UTM-3001FW

用油作密封泵液的必要性

当前大量使用的机械真空泵，即使设计得zui好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。维修ULVAC分子泵公司

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