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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下以下公式成立：式中Q———单位时间灯丝放出的热量；R———灯丝的电阻；I———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；Λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；T———灯丝温度；T0———金属圆筒的温度；p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中S是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，

静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。

图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。

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inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化，充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害，准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器，伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边，根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位，进而完成宽标准的动态性压力测量。

inficon感应器具备微型化、成本低、性能、易与CMOS电子器件兼容等特性。在差异种类的inficon感应器中，很广泛、运用很普遍的是压阻式和电容式传感器。与压阻式感应器对比，电容式传感器具备敏感度高、温度指数低、功能损耗劣等优势。inficon电容器塑料薄膜真空计做为inficon电容式传感器的一种，可以达到深空探测、流体力学科学研究、临近空间探寻等方面对真空测量仪器测量准确度高、体型小、品质轻、功能损耗低的使用要求，具备普遍的应用前景。

inficon电容器塑料薄膜真空计包括真空泵规管和检测电源电路2个一部分。在其中，真空泵规管将真空值转换成容量，准确测量电源电路对容量开展解决获得真空值的值。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管原始容量的标准为几到几十皮法，其电容器变化量为几飞法乃至更小。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的比较敏感电容器具备不一样构造，包含一侧电级构造、双侧电级构造及其静电力均衡构造，不一样构造的比较敏感电容器其电容变化量不一样。

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