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凝结层对冷凝泵抽速的影响：冷凝泵在工作一段时间以后，低温表面上将凝结一定厚度的固态气体层。对冷凝泵的抽速有一定影响。其影响主要取决于冷凝层的性质，也就是取决于冷凝层的结构和类型。冷凝层的导热率是冷凝层的类型和结构的复杂函数。如果沉积速率低，冷凝层可以有一个玻璃状外表，凝结层热传导好，对抽速几乎无影响;如果沉积速率高，冷凝层出现类似雪花状结构，热传导不好，会降低抽速，但对捕集非凝结性气体是有利的。

在真空泵机组运转过热的时候，需要给分离器加一点冷水，以便降低水环真空泵的温度，让水环泵达到目前所适应的温度，让机器能正常的工作，如果在工作期间有开水溢出，这是可要注意了，要不断的添加凉水，来补充溢出的热水，达到降温的效果。

真空泵机组要想从根本上解决温度过高的现象，就要找出导致高温的原因，在使用过程中不要让它长时间工作，这样会导致温度升高，这样该产品的使用寿命才会比较久。

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分子泵使用中，可能出现的故障，以下是故障原因及真空泵维修方法：

1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

原因：附近有光照或其他热源

解决方法：避免光照或热源

2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

原因：冷却不良，负载太大

解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

ULVAC干式真空泵型号常见产品型号:

ULVACNRL180A干式真空泵

ULVACNRL90A干式真空泵

ULVACNRL60A干式真空泵

ULVACYM-RL-301A干式机组

ULVACYM-RL-302A干式机组

ULVACYM-RL-601A干式机组

ULVACYM-RL-602A干式机组

ULVACYM-RL-1201A干式机组

ULVACYM-RL-1202A干式机组

泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。1x10-2torr带fomblin1x10-2mbar/7。

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保养

1、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。

2、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。

3、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，真空泵，再投入正常工作。

4、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。广州真空泵维修服务公司

5、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能获得节能效果

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，真空泵机组维修，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

油式旋片真空泵使用

　　和所有转动设备一样，油式旋片真空泵开机前需要在电机风叶处手动盘车，检查泵内是否有异物卡住。之后加相应型号真空泵油到指ding油位且在使用一周内或工作100 h 换油，因为新配件可能会产生杂质影响抽真空效果。禁止在泵进口放有容易被吸入泵内的东西，泵出口如有手动阀门一定要处于开启状态。然后点动，检查转向是否正确再继续运转。进口管线尽可能短易于保持密封性，以免泄漏减少真空度。

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