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喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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泵效是分子泵的重要基本参数，提高传动比是提升泵效更加马上的方法之一，随着着动平衡设备***性的发展趋向，分子泵发电机转子可顺利地在快速转动下稳定运作。随着着管理学的发展趋向，分子泵发电机转子原料也发生了变化，可用硬铝型材、碳纤维、合金材料等高耐磨原料制成，这使发电机转子的传动比得到进一步提高。

为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施：

　　1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。

　　2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。

　　3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。在轴的初步设计时，应对其临界转速进行验算，至少使其与工作转速相差 20 %左右，否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。

　　4、对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外，还有利于越过共振区，衰减高频振动和噪音的作用。

　　5、为减少分子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分子泵的影响，在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振作用。

　　装配时泵内一定要保持干燥、清洁。将各机座的油泵放在*下面, 然后依次重叠的直立装配。各机座高真空室的旋片应沿螺旋线顺序相距一齿。预真空室转子的旋片应相距两齿, 两个预真空室的转子端头孔应相对着不要掉头。零部件的互相接触部分应涂以干净的真空泵油以加强润滑。

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真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

真空泵油有问题：

1.油位过低。应加足油量到油标中心线，

2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，

3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，

4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应位查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

分子泵是高速运转的机械设备，滚动轴承常见故障很有可能会导致泵叶子粉碎立即损毁；而当滚动轴承运行状态欠佳时，会出现一系列的状况，如分子泵无法启动，运作噪声扩大，溫度或输出功率出现异常提升等，在清除外部自然环境和进排气管工作压力过高外部要素后，应尽早停泵，送至维修站开展维修。

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