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分子泵使用中有哪些注意事项?2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得超高真空?4.国际热核聚变试验堆(ITER)的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试,仅选很优方案,揭秘新型分子泵测试方法;真空聚焦真空行业新媒体平台:涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。
质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150MeV(1.5亿电子伏特)的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150MeV提升到3.5GeV(35亿电子伏特)的量增强器,以及一台周长432米的3.5GeV电子储存环,
经过技术推荐,成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵,涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.
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磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
分子泵启动的条件:①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度②、启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对氦质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和超高真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和超高真空环境。
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传统的动平衡技术通过增加额外的质量,例如动平衡配重块,来减少质量分布的不均匀。质量动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用,其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中,转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度,转子沿旋转轴分成多个平衡等级,每个等级都有相应的孔。
动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了质量分布的不均匀,转子的剩余不平衡度被减少到所需的极限值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定,并逐步完成补偿,从而降低转子的振动并达到额定速度。
近些年来,涡轮分子泵的应用场景越来越多,许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为超高真空泵,目前已多被涡轮分子泵所取代。此外,随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛,对涡轮分子泵也提出了更高要求,特别是在次级特性方面。因此,高速转子一直需要进一步开发,包括转子的使用寿命、振动水平(即泵壳上发出的声响和振动),以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。
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