广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V6000维修费用

滑阀式真空泵市场

　　国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V6000维修费用维修问题

分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

　　答：原因：电压低

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务，主要项目包括：对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境

干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

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安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动。

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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。