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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德  首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，分子泵，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。 　　 　　分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。

　通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵电源，真空计，真空显示器，氦气检测仪，质谱仪的维修、保养、销售等服务。分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：  　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

　（2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分流式分子泵应用于氦质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计,广泛应用于国内,国际

爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商,选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵SplitFlow优点

紧凑设计,占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型IP54适合于工业用途

准S2和UL/CSA认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性

涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置

超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来,例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等,传样过程中保证超高真空量级的真空增量,超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右,极限真空好于1E-10mbar！

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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力，公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上，成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论，鉴定很终鉴定意见为：公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台（套），具有自主知识产权，主要性能指标达到水平，取得了显著的经济及社会效益，建议进一步推广应用。

作为中国真空技术者，公司始终以“创新科学仪器，发展企业”为使命，以电子光学和真空技术，打造科学仪器设备及装备制造国家队，在“十四五”规划的新征程，立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

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