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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态跟踪；微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计，电路为闭环结构，包括微电容测量电路和静电力控制回路，其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力，对系统的测量性能有着至关重要的影响，该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。

inficon电容薄膜真空计用于真空测量，要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量，同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求，所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此，针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。

由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成，而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势，因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外，随着人工智能以及物联网的发展，inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展，这使得其需求量变大，种类更多，考虑到市场的研发时间成本，研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。

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火星携带式真空计校准装置

真空计校准装置怎样完成“小直尺”充分发挥“大功效”？

回望携带式真空计校准装置的产品研发过程，为了确保校准装置的灵巧应用，以完成线上校准的初衷为牵引带，真空事业部商品研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，提升了诸多技术性困难。为了更好地达到不一样室内空间、不一样自然环境的灵巧应用，要确保“直尺”容积充足小、便捷带上。

研发人员选用模块化设计、一体化设计方案，根据机械结构设计和硬件配置构造的持续更新，相比于初代产品构造更为紧密，应用更加便捷；设计方案为壳体式构造，能够更好地维护装置本身和规范器，完成远途带上，有利于在试验室和当场校准应用。现阶段，很新代该装置容积约500mm×500mm×850mm。

火星科技人员应用携带式真空计校准装置

为了更好地校准装置的后期发展趋势，具有更多用途，要确保装置具备扩展作用插口。研发人员选用在装置中预埋通用性真空插口的方法，便捷后面产品组合策略，扩展新的作用，如扩展标准孔板校准、测漏等作用。根据真空事业部很多年来的持续克难攻坚，胆大自主创新，现阶段研制的携带式真空计校准装置在机器设备外型、顾客页面及实际操作应用上更为美观大方有效，具有体型小、易带上，不会受到自然环境、室内空间等原因危害，随时都可以开展校准应用，

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