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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修,安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵保养


特点:

      Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。










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现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧,所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中,应能控制加速、减速、全速运转,转速降低运行或电源故障时的油量。

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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。

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