广州潽拓光电科技有限公司

LEYBOLD莱宝分子泵用途

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。

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结构组成:涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理:

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。



特点:抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空极限真空:10-6/ 10-10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 

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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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Leybold 二手莱宝TW70H分子泵现货,下图



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      分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵,泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。

涡轮分子泵特点: 1、清洁,无油蒸汽返流; 2、使用方便; 3气体输送能力强; 4、适于超高真空应用; 5、高压力下性能良好; 6、循环的时间短;; 7、正常使用时间长; 8、设备费用高; 9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故; 综上所述,涡轮分子泵的特点很多,但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展,涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率,其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要专业人士的专研,同时也需要各界的共同努力,对涡轮分子泵特点的进一步研究,相信在未来是个值得突破的课题。



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