广州潽拓光电科技有限公司——TV250Agilent分子泵维修改造

广州潽拓Agilent安捷伦 TV401301涡轮分子泵维修
      varian Turbo-V 301/401 Navigator 分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的泵。

Agilent TV301分子泵有四种规格，分别为：

Agilent  TV 301 ISO100-K

Agilent  TV301 Cf100

Agilent Varian TV301 CF160

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。

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当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

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安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS，悬浮转子，能够有限改善震动。AFS提供了超高精度，确保了轴承对准。同时径向静止设计，极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS，TV304FS，TV551，TV701，TV1001，TV2300，TV3KG等不同抽速大小的分子泵，以满足客户不同的应用需求。

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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度好的干泵