潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
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广州潽拓——爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100 PUMP Overhaul
广州潽拓光电科技有限公司——提供Edwards爱德华ESD/GVSP/XDS/nXDS系列涡旋干泵,XDD/D-LAB系列隔膜泵/GXS系列干式螺杆真空泵,EPX/IPX/GV/GX/iF/iH/iL/iLs/Igx/iXH/iXL/iXS/pXH系列半导体干泵,EH/HV系列罗茨泵,Stokes 6系列机械增压泵,CDX/CXS系列化学干泵,GV系列爪式真空干泵的维修、保养服务。维修流程完善,长期备有原厂维修配件,为客户提供良好的服务!
潽拓——广州真空分子泵维修,分子泵
Edwards EXT70H 英国爱德华涡轮分子泵维修
广州潽拓光电科技有限公司维修Edwards TURBO Pump英国爱德华STP/EXT/ NEXT全系列涡轮分子泵全系列分子泵,可提供24小时快速维修保养技术服务,欢迎咨询联系。
广州潽拓光电科技有限公司注册于2016年07月29日,自成立以来,专注于分子泵,真空领域技术服务。在科学研究和技术服务业不断潜心研究,不断进取,完善内部制度。