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超高真空互联装置需要在超高真空环境中进行,对真空度要求及其高,真空可达1E-10mbar,一般需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,涡轮分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80,,700,1200广泛应用于超高真空互联装置中!

超高真空互联系统会以ARPES,STM,MBE,UPS,XPS的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.ARPES角分辨光电子能谱,利用光电效应研究固体的电子结构,当一束光照射在样品表面,当入射光频率高于特定阈值(功函数)时,表面附近的电子会脱离样品,成为自由电子,这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中,被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.

某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵机组耗电：

2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度

=15993.60元原来的耗电：

8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度

=59136元通过上述计算，几乎当年就能从电费一项收回投资费用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。

该分子泵近乎免维护，所以如果考虑维护费用，经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功，为节能减排贡献巨大力量，做到了制造应用与双赢，并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外，通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试，灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高，通过质谱分析，系统的油污染得到降低，光谱等分析都显示，应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。

与此同时，根据在其他多家特种灯（金卤灯、航标灯等）、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈，分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用，分子泵都得到好评和大量替换配套。结  语通过这个案例可以看出，将高压强分子泵机组直接用到圆排机上，实现了降耗节能、保证质量的目标，完全可以替代。

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真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时，对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的，在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。

在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。抗振动测试通过对一批泵（处于运行和非运行条件下）进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远低于阈值。

温度测试将泵置于–40°C至+70°C（处于非运行状态）以及0°C至40°C（处于运行状态）下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次，结果显示仅存在的变异，远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平：0.4m/s2。

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