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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成，利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5V，功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF，分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求，PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造，供电电压为1.8V，能耗约为10mW。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mV/fF，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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感应器的实际操作理念呈现了设计和多功能性是怎么保证互相的。即便如此，可扩展性的必要性也是高过客户友的，由于液位传感器必须开展持续很多年测量和检测工作中，PS+系列产品选用特别的密封性设计方案。因而极其牢固，ISO防水等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的规定，PS+系列产品

液位传感器包含选用久经考验的瓷器测量元器件(PS310)或全电焊焊接金属材料测量元器件(PS510)二种种类，这种全电焊焊接测量元器件耐过压工作能力达到额定值工作压力的7倍。必需时，感应器也可安裝值工作压力孔，因为可以载入测量值和小、大工作压力。可以完成相近具备储存作用的数显式表针真空压力表的作用。

谱拓高新科技唯实专注于给予的真空操纵、检测仪器、光机电一体化设备，以非凡的产品与服务为顾客创造财富。以科技创新为方式，以商品技术化、产业化生产制造为基本，勤奋进步成为了中国实验仪器，特别是在真空行业具备竞争优势的生产制造、服务化公司。

做为当代高新企业，谱拓高新科技唯实以自主创新、诚实守信、合理为价值观，在牢固、发展趋势目前设备的根基上，大力推广真空商品，逐步完善“以目前商品为基本，以真空商品为将来”的未来发展布局。

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