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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷伦科技（Agilent Technologies），StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。

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安捷伦真空可以生产多种类型的离子泵。采用设计的安捷伦SEM离子泵，具有更加稳定的压力读数，以及更少的粒子产生，特别适合安装于电子处（电子处对温度、磁场的要求都比较高，一般的冷阴极或热阴极真空计对其正常工作会有影响，而普通的离子泵测量的压力偏差又比较大）。安捷伦真空独有的StarCell离子泵在保留较高活性气体抽速的同时，还具有相当高的惰性气体抽速，一般将其安装于镜筒的下部，与电子上的SEM离子泵相结合，为电子显微镜提供一个强大的高真空抽气组合。

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安捷伦傅里叶变换红外光谱系统还配置了内含 142 种标准类化合物的红外谱库，在对疑似类物质进行检测时，仅需调用带有谱库的方法采集谱图，短短几十秒即可确认未知物是否为类物质。该谱库严格按照规矩设计，能够满足、邮政、海关及相关部门的检测需求。且仪器体积小巧，在用户有特殊需求时，可作为移动测量设备置于测量现场；如在实验室内使用时，为保护测量人员的安全，也可将其置于通风橱或手套箱内使用。