广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷伦科技（Agilent Technologies），StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、高真空实验装置等诸多应用。

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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

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近日，安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时，还拥有诸多全新的特点，此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的一款真空产品。

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安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。

安捷伦扩散泵特点一抽气快（压力降的快）与扩散泵相比，前级泵（如罗茨泵）的抽速一般都会比较小，而且，在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降，所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高，这样，在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空设备的压力可以很多的下降。