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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——Edwards真空分子泵，分子泵

维修爱德华STP-H301化工泵保养|精工精机STP-H301C

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广州潽拓维修爱德华Edwards EXT 250分子泵

广州潽拓光电科技有限公司成功维修Edwards EXT 250二手分子泵

           广州潽拓光电精修Edwards爱德华STP/EXT/NEXT/SCU全系列分子泵及控制器，原装配件，提供备用泵（爱德华二手分子泵）维修经验丰富，拥有完善的分子泵维修流程及的动平衡设备，技术可靠，维修价格合理，免费提供相关技术支持。

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