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ULVAC分子泵维修说明-广州潽拓光电公司

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。



分子泵启动的条件:①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度②、启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对氦质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。



分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和超高真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和超高真空环境。

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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵,针对小分子气体具有的抽吸能力。”真空涡轮分子泵产品经理说道。内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下,提供了包括ProfiNet和EtherCat在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析,实现在运行过程中进行理想的工艺监控。



它的运行噪音低,气体流量大,为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得SemiS2、UL、CSA和Nema12认证。此外,该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换,并且均可免维护运行4年。磁场环境对分子泵运行的影响:许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI()的磁场强度甚至会高达3T;



尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。


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在润滑方面,配备一种新型润滑剂,具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性,进一步提升真空泵组的安全性能,而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线,客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.



涡轮分子泵1500U技术参数

压缩比

Ar:>1X108

H2:6X103

He:2X105

N2:>1X108

抽速

Ar:1350l/s

H2:1150l/s

He:1350l/s

N2:1400l/s

进气口

DN250-ISO-K

极限真空重量

29KG



涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet型号供选择),多种配件供客户选择.


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