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扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试（长时间暴露于加速损坏的条件下），对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试，证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度，相当于从82 厘米/32 英寸高跌落（处于非运行状态的泵）和从 15 厘米/6 英寸高跌落（处于运行状态的泵）。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。

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“黑科技” No.2  AFS 安捷伦悬浮轴承技术

一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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滑阀式真空泵市场

　　国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修店维修问题

分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

　　答：原因：电压低

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分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏