潽拓——{精}，分子泵
广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——Edwards二手分子泵，分子泵
Edwards爱德华 STP h200c设备泵维修保养
Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152，出气法兰口KF25，抽速可达到270L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。
潽拓——Edwards二手分子泵，真空泵
维修二手 Edwards nxds15i 干涡旋泵，潽拓光电维修分子泵
爱德华Edwards nXDS 泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS 泵还采用了新的端面密封技术，显著延长了端面密封条更换的时间间隔。
Edwards nXDS-C是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。
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