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广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——爱德华分子泵，分子泵

Edwards ext70分子泵维修及二手分子泵出售

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  爱德华BOC Edwards STP-451C磁悬分子泵


英国爱德华磁悬浮分子泵维修，能维修的磁悬浮分子泵型号有：

Edwards STP301--- 

 Edwards STP301CEdwards STP451 ---

Edwards STP451CEdwards STP603 ----

Edwards STP603CEdwards STP1003----

Edwards STP1003C Edwards STPH301---

Edwards STPH301CEdwards STPH451---

Edwards STPH451CEdwards STPH803—

dwards STPH803CEdwards STPH1303---

Edwards STPH1303CEdwards STPH600---

Edwards STPH600CEdwards STPH1000—

Edwards STPA2203CEdwards STPA2503---

-Edwards STPA2503CEdwards STPA3003----

Edwards STPA3503CEdwards STPA2803----

Edwards STPA2803CEdwards STPA3503---

Edwards STPA3503C Edwards STPF2203---

STPF2203CEdwards STPXH2603P---

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