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云浮爱德华真空机械泵-广州潽拓光电科技

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广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养





主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。


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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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广州潽拓光电科技有限公司维修Edwards EXT200/200H 24V质谱仪分子泵,

可提供24小时快速维修保养技术服务,欢迎咨询联系。



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爱德华 Edwards EXT 70H 80V dc







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