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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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Edwards EXT70H 24V爱德华分子泵维修
爱德华的Edwards EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，其内部涡轮转子是专门为高真空开发的，层数较普通的 EXT70要多很多。
本公司紧贴国内外真空行业，市场信息，引进国外及原厂的技术支持，并与国内相关学术单位密切合作，同时拥有德国与日本的在线高速动平衡设备，十年维修经验工程师团队定期参加真空学术研讨，培训，同步获得技术支持，能根据不同的客户要求制定不同的真空获得方案，诚意为客户选取合适的产品，务求令客户节省成本，提高竞争力。
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Edwards nEXT240D涡轮分子泵
入口法兰DN100ISO-K，DN100CF
出口法兰KF25
抽速N2240l/sHe230l/sH2165l/s
压缩比N2>1×1011He3×105H21×104
极限真空（ISO/CF，RV前级泵）<6×10-8/<5×10-10 mbar
推荐前级泵*RV12/nXDS10i
放气口1/8英寸BSP母螺纹
吹扫口1/8英寸BSP母螺纹
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