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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

　　(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

　　(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

　　(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

　　注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加

普发Pfeiffer TC100二手分子泵驱动器 德国普发分子泵电源 Pfeiffer TC100 ，可以驱动对应的分子泵有Pfeiffer TMH071， Pfeiffer TMU071， Pfeiffer TMH262，其输出为3相 24V 0-1500Hz的PWM 电压。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵

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