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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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Edwards 爱德华 STP-H301C磁悬分子泵维修保养
本公司秉持“诚信经营、规范管理、尽善尽美、服务至上。”的经营方式，尊敬的真空泵用户朋友们：如果此刻，你的真空设备出现以上故障，欢迎致电!我们将会安排专业的技术人员为您提供免费的技术指导和全套满意的方案。
我们要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian)，shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵，我司具备完整的测试设备，可以测试分子泵的启动时间，转速，噪音，极限真空值，渗漏率等相关数据，能在现场能帮客户分析分子泵状态，不需要客户停机。
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Edwards SCU-L301H-01
Edwards SCU-L301H-01 涡轮泵控制器是一种数字化的可控制器，对于中型泵具有的兼容性。新的AVR（自动减振）可进一步降低振动级别，而预维护调用功能可以提前通知准确的维护时间。
注重性的设计、增强的通信功能以及的兼容性大大节省了后备装置的开支，使总COO得以降低。
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