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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,P较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的Hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
分子泵故障:1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?原因:附近有光照或其他热源解决方法:避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?原因:冷却不良,负载太大解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?原因:负载太大,系统真空度不够解决方法:检查系统4、分子泵轴承为什么会烧毁原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
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用于氦质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60L/s左右的小型泵,对氦气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关,只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力,且抽速随转速而增,所以抽速在50~150L/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是,压缩比,所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比于转速及分子量的关系是:
Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比,而且,还通过降低叶轮转速,降低对He的压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。
改变氦质谱检漏仪的分子泵的转速,分子泵的压缩比会发生变化,分子泵的转速由1500Hz改变为1000Hz,分子泵的压缩比会变小,进入质谱室的氦分压增加,检漏仪检测到氦信号会变大,试验中,检漏仪在1000Hz下的信号是1500Hz信号的3.5倍,也就是说分子泵在1500Hz的压缩比;是1000Hz的3.5倍。
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