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真空计的分类及原理

真空计（VacuumGauge）,又称真空规，是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能，利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电偶规5、热阴极电离规6、冷阴极电离规

真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。

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感应器的实际操作理念呈现了设计和多功能性是怎么保证互相的。即便如此，可扩展性的必要性也是高过客户友的，由于液位传感器必须开展持续很多年测量和检测工作中，PS+系列产品选用特别的密封性设计方案。因而极其牢固，ISO防水等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的规定，PS+系列产品

液位传感器包含选用久经考验的瓷器测量元器件(PS310)或全电焊焊接金属材料测量元器件(PS510)二种种类，这种全电焊焊接测量元器件耐过压工作能力达到额定值工作压力的7倍。必需时，感应器也可安裝值工作压力孔，因为可以载入测量值和小、大工作压力。可以完成相近具备储存作用的数显式表针真空压力表的作用。

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做为当代高新企业，谱拓高新科技唯实以自主创新、诚实守信、合理为价值观，在牢固、发展趋势目前设备的根基上，大力推广真空商品，逐步完善“以目前商品为基本，以真空商品为将来”的未来发展布局。

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