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涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。不锈钢腔体上有六个真空计连接口。如果客户要求，两个参考标准(1hPa和1,000hPa)和一个冷阴极真空计能够预装在这套系统中。比如，压力控制和归零调整的预装。

所有的真空计都进行了预校准并且符合德国认证机构(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的标准。这就使得校准真空计可以被有效的实施并且符合法律和规范要求，并且这个标准是一个国际化上认可的标准。此外， 很多四台真空计能安装在不锈钢腔体上同时进行校准。

装置内要求6台相接的真空计要求的真空度相同，谱拓认为这就需要在校准的时候，用独立的进气阀来设定并且控制真空度。

涡轮分子泵(英简:turbopumps,TMP)是由多级的，涡轮状带叶片的转子通过一个无刷直流电机驱动复合轴承构成。在转子叶片之间，有一个定子叶片，定子叶片结构与转子相似，但与转子成镜像安装。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有良好的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，Vref为输入参考电压，时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率，其中电容C3=2C4。测量过程分为两个阶段，当信号Cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号Cal置“1”时，电路处于校准状态，C1和C2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，

静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。

图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。

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