潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵
Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修保养图
广州潽拓光电科技有限公司成功维修一台二手
Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修图
清理出很多杂质(如下图)
EDWARDS STP-iXA2206和STP-iXA3306泵可以用于太阳能、玻璃涂层、半导体以及LCD刻蚀等方面。
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Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵
技术参数:
入口法兰尺寸 VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>107
极限压力 10-6 Pa (10-8 Torr)
允许的前级压力 200 Pa
大气流 N2 *(仅水冷) 3200 sccm
(5.41 Pam3s-1)
大气流 Ar *(仅水冷) 1000 sccm
(1.69 Pam3s-1)
额定速度 36500 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
大输入功率(不带 TMS) 750 VA
重量 45 kg
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Edwards MAG W 2200 iPL 真空泵磁悬浮分子泵
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