广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵
美国安捷伦Agilent TV81M就是意大利瓦里安Varian Turbo-V 81-M分子泵,又称为Varian TV81-M分子泵,其与瓦里安的同门兄弟Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列,转速都是80000,DN63口径时,抽速都是77L/s,启动时间都是60秒,分子泵电源可以相互通用
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵(10-3至10-8托)或极高机械泵(<10-8托)的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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