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滑阀真空泵工作原理:

另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵，泵壳内装一偏心的转子。转子上有若干槽，槽内有可以滑动的滑片。转子转地槽内的滑片向四周伸出，不与泵壳接触。气体于滑片与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入，于二者所包围的空间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0.06Pa。相比旋片真空泵运行更加稳定，耐用性更强。阿尔卡特进口泵维修

分子筛的吸附特性分子筛对于 H,ONHHSCO等性分子具有很高的亲和力，特别是对于水，即使在低分压力或低浓度、高温等十分苛刻的条件下，仍有很高的吸附容量。另外,与其它吸附剂相比,分子筛还有良好的热稳定性，吸附量饱和后可经加热处理使之恢复吸附能力。阿尔卡特进口泵维修

试验表明,分子筛在10Pa下的空气中,在700C 下加热 6h,其晶体结构可以无变化。但是,在 800C下加热不到 2h,分子筛便重新结晶而形成一种象白硅石般的结构。因此，必须强调指出，在应用分子筛时，其温度不能超过 600C。阿尔卡特进口泵维修

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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磁悬浮分子泵是利用磁力作用将转子悬浮于空中使转子和定子无接触运转。

其特点如下：

（1）不用任何润滑油，可实现完全无油化。

（2)由于转子与定子之间没有机械接触，轴承的寿命非常长。

（3）与传统轴承相比，转子可运行到很高的转速。

（4）　振动与噪声很低。化工泵维修

（5）　泵的安装姿态不受限制，可任意角度安装。

（6）转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形

（7）自平衡技术振动ji小

相比普通分子泵，它的轴承不需要润滑，所以可以排除油污染。

脂润滑分子泵特点：轴承用油脂润滑。

通常情况下有效粘度低，蒸汽压极低的轴承用油脂，使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心，尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。

蒸汽的影响：咱们所用的真空泵为蒸汽喷发真空泵，是以过饱满水蒸汽为作业介质的，蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能，还会腐蚀蒸汽喷唬，添加泵的蒸汽用量，使泵的作业状況变得不稳定；

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含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备，在集成电路刻蚀等工艺过程中，部分工艺气体容易冷却凝结，附着在分子泵转子及内壁，造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞，影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度，降低工艺气体凝结，提高分子泵稳定性及寿命。   磁悬浮涡轮分子泵维修

我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修

分子泵的工作区间是有限制的，*大启动压强也要在100pa，直接大气启动只会长期处于过载状态运行，并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修

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