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真空泵维修注意事项如下：

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，否则会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转，电机和真空泵的温升是否过高等。

3、用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是否适当。必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油

Pfeiffer   HiPace 80普发涡轮分子泵进气法兰口DN 40/DN 63/DN 70（KF/CF) ，出气法兰口DN 16 ISO-KF / G，抽速可达到67 L/s，转速为90000rpm，对应的控制器为： Pfeiffer  TC110 。

当真空室粗抽适度后就关闭粗抽阀门，而粗抽泵还在继续运转时，粗抽管道内的压力降低了会出现分子流状态。碳氢化合物会出现返流，并凝结在粗抽阀盖上或阀的密封处。当粗抽阀再打开时，这些凝结物就有可能离开阀盖或密封处而返流向真空室一侧。在下一个高真空循环周期中这些油蒸汽就会迁移到真空室内而遭到污染。普发分子泵维修费用

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——普发HiPace400进口分子泵维修保养复合分子真空泵

泵不启动

  原因有：1、电源故障、可参照电源说明书

          2、连接电缆不通，用电表查连接电缆，并检查和使插座接触良好。

九、长时间启动仍达不到额定转速或停转

原因：1、系统有漏2、前级压强过高3、转向有误4、润滑油失效5、轴承损坏

正确的使用气镇

有些工艺本身就会产生大量的水蒸气，比如真空干燥，真空冷冻干燥等，而真空腔体的内壁也会吸附水分（特别是在潮湿的季节），这些水分在真空下会汽化形成大量的水蒸气。水蒸气在真空泵内被压缩后，将会凝结成液态水并积存在泵内，造成泵油乳化、轴封漏油、内部生锈、噪音增大、极限真空变差等问题。避免水蒸气冷凝需要用到气镇。气镇起到向真空泵内掺气的作用，当气镇口打开时，吸入外部干燥气体以稀释泵内水蒸气，从而避免水蒸气凝结。对于水汽含量较大的应用，建议一直打开气镇；对于要求极限真空或者水汽含量较小的应用，可以在需要排水时让泵带气镇持续运行约1个小时，然后重新将气镇口关闭

在复合分子真空泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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因为涡轮增压分子泵的滚动轴承和转子都会髙速旋转，对震动非常比较敏感，传送到滚动轴承的震动会危害滚动轴承的使用寿命，传送到电机转子的震动会导致电机转子产生偏移，乃至会与泵壳或电机定子触碰。而一旦髙速旋转的电机转子与其他静止不动的一部分触碰，极大的撞击力会马上导致电机转子叶子的粉碎，整泵也随着损毁。

Pfeiffer TMU521-德国普发分子泵维修测试照片：分子泵电压71V，分子泵频率：833Hz

Pfeiffer TMH521是德国普发公司中型涡轮分子泵，对应Pfeiffer TC600 及Pfeiffer DCU300，Pfeiffer TMH521对应口径有ISO100及ISO160-K，CF接口的Pfeiffer TMU521有CF100及CF160 两种口径

分子泵的关键部件是转动叶片和固定不动叶片(图1)。转动叶片的转速比达1800～90000rpm，叶片端客户达百余m/s，贴近分子结构的平均速率，根据和汽体分子结构的撞击将汽体分子结构运送到出气口。分子泵的转速比可做到10000r/min~50000r/min，假如立即抽空气，气旋会对分子泵导致不可逆的损害乃至报费。当对向设定的转动叶片开展髙速旋转时，汽体分子结构从呼吸侧健身运动到排气管侧的概率是A，汽体分子结构从排气管侧往复运动到呼吸侧的概率是B

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