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Edwards是真空泵的老牌供应商,并且是全**大的真空设备供应商,
Edwards爱德华分子泵具有无油,低振动,自动平衡系统,免维护,耐腐蚀性能的特点。
Edwards nEXT400D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO160 或 CF160 入口法兰,具备 400ls-1 的 N2 抽速。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染*少,可获得洁净的超高真空
nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
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