我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。

广州潽拓——专业维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

   我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。

广州潽拓——出售德国产Pfeiffer Hipace80涡轮分子泵（PUTUOVAC VACUUM）

德国产Pfeiffer Hipace80涡轮分子泵可单独出售，也可以+TC110控制器整套出售，欢迎来电洽谈。

分子泵 Pfeiffer HiPaceTM 80 技术参数：

分子泵控制器           TC 110

抽速（N2）             71 l/s

启动时间               1.7 min

压缩比（N2）           >1x1011

冷却方式               风冷、水冷

重量                  2.4kg

极限真空度             < 1x10-7 hPa

   抽速可达到71 l/s紧凑有力的涡轮分子泵。紧凑设计适合广泛应用。高抽速和da压缩比。集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54、半导体S2、UL / CSA认证。通过分子泵控制器，监控运算元据保证分子泵的da可靠性。理想可靠的集成系统，可以安装在任何位置。多种配件可选满足广泛应用。

涡轮分子泵工作原理:

  包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到热分子速度上。为确保由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中占主 导地位，即：平均自由程必须大于叶片间距。

在动能泵的情况下，在泵送气体时出现反压力；这导致回 流。抽速以 $S_0$表示。体积流量随压力增加而减少，并在da压缩比 $K_0$ 时达到 0 值。

潽拓——{精}普发pfeiffer 真空泵售后维修PFEIFFER TMH071P分子泵维修

广州潽拓光电专业维修普发PFEIFFER TMH071P分子泵

涡轮分子泵工作原理

   包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到热分子速度上。为确保由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中占主 导地位，即：平均自由程必须大于叶片间距。