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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行，所以能够准确且安全地测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压，全新添加的数字式信号输出功能，可以让其实现高精度且的数据传输。与模拟测量方法相比，能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据，得到更加准确的结果。

系列产品配备M12插接头，使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与HiPace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面，现已有Profibus-DP、DeviceNet或带两个开关点和一个LCD显示器的附加模拟输出设备可供选择

为应对不断变化的市场需求，该系列 很近新增了更多选配件。

此前，该系列真空规仅配备RS-485接口，而现在，还配有工业以太网接口Profinet和EtherCAT。与传统现场总线相比，它们具有数据传输速率极高、接入设备显著更多的优点，因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。ProfiNet和EtherCat接口此外，除了此前采用模拟输出的版本，现还配有电容式真空规CCT。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势，并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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.inficon真空计的特点？答：inficon真空计是一种真空计，可以给出被测压力的值。但inficon计只能测量被测气体中性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。作为现代高新技术企业，

谱拓科技唯实以创新、诚信、有效为价值观，在稳固、发展现有产品的基础上，大力发展真空产品，逐步形成“以现有产品为基础，以真空产品为未来”的发展格局。热忱欢迎国内外各界人士前来洽谈，开展各种形式的合作和交流，为发展科技事业和国民经济作出更大的贡献。· 

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inficon电容薄膜真空计作为inficon电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。inficon电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。

inficon电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。inficon电容薄膜真空规管的敏感电容具有不同结构，包括单侧电极结构、双侧电极结构以及静电力平衡结构，不同结构的敏感电容其电容变化量不同。另外，inficon电容薄膜真空计要求测量电路功耗低、易集成，考虑到寄生电容和电磁干扰及温度的影响，准确测量inficon电容薄膜真空规管的微小电容是一个难题。

针对不同结构的敏感电容，提出了多种微小电容测量方法。1.单侧电极微小电容测量敏感电容为单侧电极的inficon电容薄膜真空规管结构简单，在inficon制造及封装工艺下易于实现。如图1所示，感压薄膜上的电极与硅基底上的电极组成了一个随真空度变化而变化的敏感电容。由于只存在单一的敏感电容，测量电路中往往需要引入一电容值与敏感电容初值相等的固值参考电容。

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