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岛津TMP-203M磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出气法兰口KF25，抽速可达到190 L/s，转速为50000 rpm

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真空泵可以抽到的压力的极限数值。真空泵的极限压力和抽气量是真空泵的重要参数，极限压力越低，真空泵制造真空环境的性能越高。

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