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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa, 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa, 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

2、检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

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分子泵维修是件非常zhuan业细致的工作，专心zhuan业的潽拓光电科技人，本着全心全意的精神，为客户提供尽善尽美的服务。有任何需要分子泵的客户，欢迎联系我们咨询！分子泵控制器维护

日志将在诊断未来的问题、安排各种维护活动和备品备件储备方面发挥关键作用。安装一个运行时计，记录泵在服务活动之间的运行时数，并将其输入日志。如果可能，测量并电子记录每个操作周期中泵前后的真空度，分子泵控制器维护，以及泵降时间和炉中达到的*终真空度。由于工艺原因，这些信息通常作为数据点收集并存储在炉子的数据采集系统中。它还可以用于计划和调度维护。这些变量的变化可以被编程到控制系统中，当维修检查或特定的维修活动是必要的时候通知操作人员。分子泵控制器维护

分子泵启动后需要等待数小时至一整夜的时间，才能开启质谱仪进行操作。 具体时间长短受到泵的型号、压力、环境温度以及泵内油的种类和质量等因素的影响。 同时，在启动前需要对分子泵进行前处理，并将真空室抽取至低于10^-2 torr的真空度。分子泵控制器维护

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真空泵维修，问题1、真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。varian TV 902分子泵维修

电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。varian TV 902分子泵维修

"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，测量值为－30KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低30KPa的真空状态。同一台泵在不同的地点测量，其相对压力值可能是不同的，因为不同测量地点的大气压是不同的，这是各地的海拔高度、温度等不同客观条件造成的。简而言之，以“测量地点大气压”作为参照来标识的气压，称为：“相对压力”或“相对真空”。varian TV 902分子泵维修

一般真空泵抽气体时，根据真空泵铭牌上的抽气流量数值。可以算出抽除固定容器内气体的时间。当达到该时间后，并非就能达到极限真空度。即铭牌上的真空度。一般需要多长时间达到极限真空，具体问下生产的真空泵厂家。varian TV 902分子泵维修

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