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气膜轴承
使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售,因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触,使轴承瞬间遭到破坏。