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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚,将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。 正是意识到这一问题后,公司以此为科技攻关点,经过多年的不懈努力,磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理,研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机,很后将两者结合起来,成功研发出国内生產的磁悬浮复合分子泵,并探索实现了产业化。
9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故; 综上所述,涡轮分子泵的特点很多,但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展,涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率,其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研,同时也需要各界的共同努力,对涡轮分子泵特点的进一步研究,相信在未来是个值得突破的课题。
爱发科分子泵, 磁悬浮分子泵应用范围***。公司研发总经理介绍,在半导体生产线、真空镀膜生产线、汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。
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分子泵常见的故障问题:
1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么会发黑?或者多长时间油才会变黑?
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,怎么使用才安全?
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
12、分子泵是否对冷却有明确要求?如果风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现什么后果?
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是很佳方式?
14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
15、分子泵叶片破碎的原因?
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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例:由于高真空法兰的振动很强烈(~20nm),导致高倍率下的图像模糊不清;而集成了这款涡轮分子泵之后,振动变得更低(~5nm),使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。
电子显微镜的两幅图像对比:配备了涡轮分子泵(右)比未配备涡轮分子泵(左)时的图像要更清晰
高度可靠的新型涡轮分子泵
除了应用更先进的技术之外,也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。
·在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。
·在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。
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