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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态跟踪；微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。利用物理性能的真空计典型性的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用汽体结构力学效用的典型性真空计有皮拉尼(Pirani)电阻器规和电加热偶规；利用自由电子作用的典型性真空计有热阴极水解规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电阻规5、热阴极水解规6、冷阴极水解规

真空计原理、工作中特点及应用热偶真空计是运用热电阻的电势差与加温部件的温度相关，元器件的温度又与气体的导热相关的基本原理来准确测量真空值的真空计。热偶真空计原理热电阻真空计的结构如下图1所显示，气体分子结构担负的导热量与气体压强正相关是热电阻真空计的原理。

热电阻真空计的结构图金属材料圆桶内部结构配有一根灯丝，两边联接电级，插电后灯丝会发烫。灯丝的卡路里会根据气体分子结构撞击灯丝、辐射热和固态导热等方法被抢走。设单位时间内以以上三种方法抢走的发热量各自为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下下列公式计算创立：式中Q———单位时间灯丝释放的发热量；R———灯丝的电阻器；I———灯丝的电流量。

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气体类型对热偶真空计的危害热偶真空计对不一样气体的测定結果是不一样的，这也是因为不一样气体分子结构的传热系数不一样引发的。但各种各样气体的p-E校准曲线样子都相似，因而，在准确测量不一样气体的负担时，可依据干躁气体(或氢气)标尺的工作压力读值，再乘于相对应的被测气体相对度，就可获得该气体的真实工作压力，

即通常以干躁气体(或氢气)的相对度为1，别的一些较常用的气体和水蒸气的相对度如表4-2所显示。相对度说明了气体导热的特性。从表得知，针对气体分子结构中具备同样原子数的气体或蒸汽，其相对度Sr随相对分子质量的增加而扩大。表4-2一些气体与蒸汽的相对度

热偶规管加温电流量的明确因为生产制造热偶规管常用的原料及加工工艺等缘故，每一个规管的加温电流量均不同样；在应用历程中也会因为规管“衰老”促使加温电流量增大；除此之外，不一样检测范围的加温电流量也是有差别。因而，在应用热偶记时，应按不一样的测量范围明确规管的加温电流量。

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