广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵
分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域,由于半导体行业发展迅速,真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦),德国普发,欧瑞康莱宝, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是国产仪器厂商,如北京北仪创新真空技术有限责任公司,成都南光机器有限公司,中科院沈阳科学仪器等企业。但是,无论是在技术还是在市场发展上,国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。
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进出口法兰、冷却水安装
①、泵入口:对正、对称拧紧
②、泵出口:防止错位
③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
注意:
环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器使用无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
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涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
广州潽拓光电科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
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对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象,与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同,安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净,有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实,这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方,都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子,该罩子的温度比喷塔低很多,所以,从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢,而是滴落在低温的挡板上,这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净,不用定期费时费力清洗
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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样,当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时,就会触发报警。另外,在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时,除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外(使用背压法检漏的器件,当泄漏很大时,检漏仪的读数反而会很小),还可以设置长粗抽时间和检漏时间,从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等