广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵分子泵安装维修注意事项

电缆安装注意事项

　　①、对正槽口插入

　　②、用螺母拧紧，边插边拧

　　③、检查到位

振动隔离、冲击防护

　　1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入异物、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器高的无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3，在客户现场就可实现。

现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户，可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3，来改善操作环境，降低使用成本，消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务，主要项目包括：对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境

干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求，所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有的，且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵，同时还提供“智能”的HS系列变频泵。

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由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速，在 UHV 系统中，通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体（如氦气和氮气）的有效手段，但是，钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体（如气和）几乎没有抽速。由于 Starcell 三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用，通常将 TSP 或 NEG 与 Starcell 结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的 CombiTSP 离子泵或与吸气剂泵复合的 CombiNEG 离子泵。