潽拓——{精}，分子泵

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——普发磁悬浮分子泵TG1307M保养

大阪涡轮（复合）分子泵:

仕　様型　号FR060D单相200V规格三相200V规格排气速度大1,000 L/min开放运转时800 L/min到達圧力通常1.0 Pa气镇时2.0 Pa极限压力大气压大水蒸气处理量※1500 g/hr连接形式吸气口KF（NW）40排气口KF（NW）40消费电力到达1.1 kW大1.3 kW电流11.1 A6.5 A润滑油量90 mL重量75kg电源电压50/60Hz単相, 200-240 V三相, 200-240 V容许电压变动※2±10%电源容量3.0 kVACP容量16A15A短路电流定额值（SCCR）1.0 kA控制型号D-sub 15Pin冷却方式空冷环境温度5-40℃※1 表示的是使用气镇时的处理量。※2 关于特殊规格，另行通知。

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大阪涡轮（复合）分子泵:前级配置

此类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型；

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

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分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度

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