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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,则V3关闭,V4打开,氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。
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真空近年来陆续发布了多个型号的TwisTorr分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,真空又发布了谱拓系列分子泵。该系列包含305FSQ、305-ICQ,以及两个带有中间抽气口的型号305SF和305-ICSF。305FSQ和305SF通过独立的控制器供电和控制,而305-ICQ和305-ICSF具有集成于泵身的控制器,只需要为其提供24V电源即可工作。
很高450sccm的氮气流量
305FSQ和305SF可以处理很大450sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/氦气流量,在同等抽速和功率的产品中,是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的305-ICQ和305-ICSF也可以处理很大380sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/氦气流量,可以应对绝大多数的仪器应用。
改进的转子结构
谱拓系列分子泵拥有的转子结构:比其他305分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他305分子泵不同的牵引级。牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题,可以承受持续的大气体流量,并可将前级耐压提高至16mbar。
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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例:由于高真空法兰的振动很强烈(~20nm),导致高倍率下的图像模糊不清;而集成了这款涡轮分子泵之后,振动变得更低(~5nm),使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。
电子显微镜的两幅图像对比:配备了涡轮分子泵(右)比未配备涡轮分子泵(左)时的图像要更清晰
高度可靠的新型涡轮分子泵
除了应用更先进的技术之外,也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。
·在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。
·在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。
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