广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵

安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时（参见文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍），还拥有诸多全新的特点（参见文章：新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究，可以针对性的提供服务。

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高真空涡轮分子泵是什么？

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

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进出口法兰、冷却水安装

　　①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

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与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到好的性能曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

据悉，CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，所需电流小，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，非常适合粒子、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计，使其结构很紧凑，安装使用也更简单。在结构上，CombiNEG系列采用安捷伦科技（AgilentTechnologies）StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团 （SaesGroups）的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。