广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

长期存放不用不是的秘诀有客户会认为，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵，该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术（NEG）是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速，其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用，以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时，还能做到更经济。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵，该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空（参考文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍）。近日，针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用，安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质，在此不再展开描述。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、高真空实验装置等诸多应用。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。