广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

进出口法兰、冷却水安装

　　①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到一定的曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计，其预置了 6 个不同的应用设置，通过简择，即可在不同应用间切换，对于大多数常见应用（喷氦、分流、背压法自动检漏等），直接选择相应的应用即可。另外，根据每个应用的特点，检漏仪在出厂时已经预置好了一些设置，并且每个应用可存储 3 组报警值，用户可以根据不同的产品修改报警值并分别保存。

安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个好的大漏粗测模式，该模式采用的不是质谱偏转原理，因此不需要很好的真空，可以在高达 2 万帕的压力下检漏，这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。